微波等离子体化学气相沉积金刚石装备及产品.pdf

太原理工大学科技成果信息表 科技成果名称 微波等离子体化学气相沉积金刚石装备及产品 项目负责人 于盛旺 联系电话 6018740 E-mail yushengwang@tyut.edu.cn 成果介绍： 微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石技术是代表化学气相沉积（CVD） 合成金刚石技术国际先进水平和发展方向的高新技术，本技术的主要成果包 括以下几方面内容： 高效能微波等离子体化学气相沉积金刚石装备的设计与制造； 钯管提纯氢气装置设计与制造； 微波等离子化学气相沉积（CVD）合成金刚石技术及产品； 金刚石后续加工技术及应用。 技术优点： 自主研发新型 CVD 合成金刚石装备及生产工艺，大幅度地提升金刚石的 合成效率，实现我国高品质金刚石产品合成技术突破，打破该类产品的禁运 问题；同时，利用煤层气分离提纯甲烷和制氢的产品电能、甲烷和氢气，提 供 CVD 合成金刚石所需的必要条件，一方面高效利用煤层气资源，一方面极 大地降低金刚石产品的生产成本。 利用该技术合成的金刚石产品生产成本低，品质可控性好，可以用于制 备切削工具、大功率集成电路散热片、高功率激光器窗口、太赫兹雷达行波 管微波输出窗片、激光核聚变关键部件等。 应用领域 知识产权 可广泛应用于机械、电子、激光、航空航天、军工及核工业等工业装备 制造部门及使用部门。 申报专利 15 项， 已授权 4 项:专利号201310566193.2； 201310055603.7； 201410161098.9；201410760770.6 发表 SCI、EI 论文数 20 余篇。 科技成果持有人简介： 于盛旺，男，工学博士，太原理工大学，讲师。2012 年 1 月毕业于北京 科技大学，同年作为第五层次引进人才任职于太原理工大学表面工程研究所， 主要从事化学气相沉积金刚石生产系统及工艺研究，申请发明专利 15 项（其 中授权 2 项），发表论文十余篇，主持山西省自然科学基金项目 1 项，参与 国家自然科学基金项目 4 项，山西省自然科学基金项目 2 项，山西省留学归 国人员资助项目 3 项。2016 年 9 月，主持研发的煤层气合成金刚石技术及产 业化生产线项目，获第十八届科协年会全国科技工作者创业创新大赛金奖。 单位：太原理工大学科技处 邮箱：88285058@qq.com 部门：产学研办公室 联系人：祁星耀 杨建伟 李飞 电话： 6018740